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20世紀50年代繼美國FARRAND公司開發感應同步器之后,世界各國都在致力于發展位移數字測量系統,尋求新的測量技術和元件及其信息處理技術。
70年代是數字式位移傳感器蓬勃發展的年代,到目前為止已取得廣泛應用的位移測量技術是感應同步器、光柵、磁柵、容柵和球柵測量技術。與此同時,由于微電子技術的發展和微處理器的出現,使得數字測量系統飛速發展,數顯量儀和機床數顯裝置也相繼出現。
儀表采用了數顯裝置后提高了測量精度和測量效率。機床采用數顯裝置后,也就是所謂的數顯機床,提高了加工精度和加工效率,并降低了廢品率,經濟效益十分顯著。機床和量具量儀的數顯化率反應了一個國家的現代制造業的水平,70年代發達國家機床的數顯化率都在50%以上。
在數字位移測量系統的基礎之上,80年代才有數控裝置和數控機床進一步的發展。半個多世紀以來,機床位移測量系統的測量分辨率也從5μm提高到1nm,機械加工精度也從1μm提升到0.01μm.由于光柵傳感器的精度高、分辨率高、動態響應好和制造技術成熟,當前的位移測量系統中90%以上是光柵位移測量系統。
FARRAND高增益直線和旋轉型感應式位置傳感器是為滿足用戶在尺寸、精度、輸出和環境條件等方面的特殊要求而專門設計的,在大量生產的條件下,能以每塊10至20美元的價格供貨。目前生產的直線型樣品可以達到很高的精度,其總精度優于±0.00127毫米(±50微時),重復精度為±0.0005毫米(±20微時)。傳感器的柵距可以任選,在給出主要輸出信號的同時可給出各種輔助功能信號,如行程終止信號或軌跡定位信號等?;撞牧鲜侨芜x的,從鑄鋁到玻璃纖維帶都可以作為基底材料,熱時間常數可以調整到適于使用者的結構要求,以消除因溫升帶來的精度誤差。
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